X射線熒光分析儀基本原理和公式：
　　當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發生碰撞時，驅趕一個內層電子而呈現一個空穴，使整個原子系統處于不穩定的激發態，激發態原子壽數約為10-12-10-14s，然后自發地由能量高的狀態躍遷到能量低的狀態。這個過程稱為馳豫過程。馳豫過程既能夠是非輻射躍遷，也能夠是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時，所開釋的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應，亦稱次級光電效應或無輻射效應，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關。當較外層的電子躍入內層空穴所開釋的能量不在原子內被吸收，而是以輻射方式放出，便發生X射線熒光，其能量等于兩能級之間的能量差。因此，X射線熒光的能量或波長是特征性的，與元素有一一對應的聯系。

K層電子被逐出后,其空穴能夠被外層中任一電子所填充，從而可發生一系列的譜線，稱為K系譜線：由L層躍遷到K層輻射的X射線叫Kα射線,由M層躍遷到K層輻射的X射線叫Kβ射線……。同樣,L層電子被逐出能夠發生L系輻射(見圖10.2)。如果入射的X射線使某元素的K層電子激發成光電子后L層電子躍遷到K層，此刻就有能量ΔE開釋出來，且ΔE=EK-EL，這個能量是以X射線方式開釋，發生的便是Kα射線，同樣還能夠發生Kβ射線，L系射線等。莫斯萊(H.G.Moseley) 發現，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學聯系如下：

　　λ=K(Z-s)-2　　這便是莫斯萊定律，式中K和S是常數，因此,只要測出熒光X射線的波長,就能夠知道元素的種類,這便是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的聯系，據此，能夠進行元素定量分析。