質(zhì)譜儀調(diào)諧故障可分為三大類,每類具有特征性表現(xiàn):
?信號(hào)異常類?
?峰形異常類?
?系統(tǒng)故障類?
?污染處理?
對(duì)離子源實(shí)施三級(jí)清洗:
?安裝校準(zhǔn)?
使用扭矩扳手緊固離子源螺絲(0.6-1.2N·m),萬(wàn)用表檢測(cè)各觸點(diǎn)阻抗應(yīng)<1Ω。重新校準(zhǔn)離子光學(xué)透鏡電壓時(shí),需采用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)工具保證聚焦精度±0.1mm
?泄漏檢測(cè)?
采用丙酮分子示蹤法:
當(dāng)泄漏率>0.5%時(shí)需更換密封圈
?氣體凈化?
安裝脫氣裝置(露點(diǎn)<-70℃),對(duì)氦氣進(jìn)行在線純化。氣瓶壓力低于0.2MPa時(shí)必須更換,減壓閥輸出壓力穩(wěn)定在0.05-0.1MPa范圍
?EM檢測(cè)器維護(hù)?
當(dāng)增益值需調(diào)高至出廠值2倍以上時(shí),應(yīng)更換EM管。新裝EM需進(jìn)行48小時(shí)老化(電壓階梯式升高至工作值)
?電源穩(wěn)定性?
加裝在線式UPS(響應(yīng)時(shí)間<10ms),保證電源波動(dòng)<±5%。接地電阻需<4Ω,零地電壓差<1V
?初步診斷?
檢查項(xiàng)目 | 合格標(biāo)準(zhǔn) | 工具與方法 |
---|---|---|
真空度 | <5×10?? Torr | 冷陰極規(guī)檢測(cè) |
燈絲狀態(tài) | 電阻值±10%標(biāo)稱值 | 萬(wàn)用表測(cè)量 |
PFTBA儲(chǔ)量 | >20%樣品瓶容量 | 視覺檢查+稱重法 |
?驗(yàn)證測(cè)試?
采用標(biāo)準(zhǔn)調(diào)諧液(如PFTBA)進(jìn)行三重驗(yàn)證:
?周期維護(hù)?
?耗材管理?
建立關(guān)鍵耗材更換日志:
耗材 | 更換周期 | 性能閾值 |
---|---|---|
EM檢測(cè)器 | 2年 | 增益>2000V |
渦輪泵油 | 1年 | 噪音>60dB |
分子篩 | 6個(gè)月 | 露點(diǎn)>-40℃ |
通過(guò)系統(tǒng)化故障排查與預(yù)防性維護(hù),可降低80%以上的調(diào)諧異常情況。當(dāng)遇到反復(fù)性故障時(shí),建議使用安捷倫診斷軟件(如MS-TunePlus)進(jìn)行全系統(tǒng)掃描,或聯(lián)系廠商工程師進(jìn)行磁場(chǎng)校準(zhǔn)等專業(yè)維護(hù)
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